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童代表努力压抑着激动,“成了,成了”,他在心中不断呐喊。
整整半年,他在煎熬中度过。
每次回到单位,都有一堆大佬等着他,每一次都在询问芯片的进度。
今天,他终于解脱了,他相信李元,更相信眼前的这台机器。
这台光刻机,机械部分由肖工和李元携手打造,加工精度已经超越当前国内最为精密的测量工具。
为了提高精度,他们二人共同加工了一套量块。
量块并不是标准的尺寸,仅仅是为了加工时,部件之间的配合更为严密。
所以,他们把量块定义为1号到10号。
1号最小,大小是按照1微米设计。
2号次之,大小是按照5微米设计。
接着顺序为10微米、50微米、100微米、200微米、500微米、1毫米、5毫米和10毫米。
材料是李元在坩埚中不断调配比例,合成的碳化钨。
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